Synthesis and Characterization of Silicon Nanorods Via Chemical Vapor Deposition at Normal Pressure
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Pulsed DC- Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition of α-rich Nanostructured Tantalum Film: Synthesis and Characterization
This paper is an attempt to synthesize nanostructured tantalum films on medical grade AISI 316L stainless steel (SS) using pulsed DC plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD). The impact of duty cycle (17-33%) and total pressure (3-10 torr) were studied using field emission scanning electron microscopy (FESEM), grazing incidence x-ray diffraction (GIXRD), nuclear reaction analysis (NRA)...
متن کاملSimulations of Silicon Carbide Chemical Vapor Deposition
ii by using insulation material correctly, a more uniform temperature distribution can be obtained. A model for the growth of SiC is used to predict growth rates at various process parameters. A number of possible factors influencing the growth rate are investigated using this model. The importance of including thermal diffusion and the effect of etching by hydrogen is shown, and the effect of ...
متن کاملVapor Phase Doping with N-type Dopant into Silicon by Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition
Atomic layer doping of phosphorus (P) and arsenic (As) into Si was performed using the vapor phase doping (VPD) technique. For increasing deposition time and precursor gas flow rate, the P and As doses tend to saturate at about 0.8 and 1.0 monolayer of Si, respectively. Therefore, these processes are self-limited in both cases. When a Si cap layer is grown on the P-covered Si(001), high P conce...
متن کاملsynthesis and characterization of some macrocyclic schiff bases
ماکروسیکلهای شیف باز از اهمیت زیادی در شیمی آلی و دارویی برخوردار می باشند. این ماکروسیکلها با دارابودن گروه های مناسب در مکانهای مناسب می توانند فلزاتی مثل مس، نیکل و ... را در حفره های خود به دام انداخته، کمپلکسهای پایدار تولید نمایند. در این پایان نامه ابتدا یک دی آلدئید آروماتیک از گلیسیرین تهیه می شود و در مرحله بعدی واکنش با دی آمینهای آروماتیک و یا آلیفاتیک در رقتهای بسیار زیاد منجر به ت...
15 صفحه اولGraphene sheets via microwave chemical vapor deposition
Centre Of Super-Diamond and Advanced Films (COSDAF), Department of Physics and Materials Science, City University of Hong Kong, Hong Kong SAR, China Department of Physics and Materials Science, City University of Hong Kong, Hong Kong SAR, China c Functional Nano & Soft Materials Laboratory (FUNSOM), Soochow University, Suzhou, Jiangsu 215123, China d Laboratory of Optoelectronic Functional Mate...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Procedia Engineering
سال: 2012
ISSN: 1877-7058
DOI: 10.1016/j.proeng.2011.12.440